派瑞林Parylene涂层采用独特的真空气相沉积工艺制备，其制备过程如下：首先，在真空条件下固态派瑞林原料在130℃升华气化，然后在680℃高温下，将气态双分子裂解成活性单体；最后在真空常温下，气态单体在基体上生长聚合，在基材表面“生长”出完全敷形的派瑞林聚合物薄膜涂层，该涂层具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。

派瑞林Parylene涂层不仅电性能和防护性能好，而且生物相溶性也好，它已通过美国FDA论证，满足美国药典生物医用材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物医用材料。

有些医疗器械具有需小心保护的内部电子元件（植入式或外部），由于这些电子元件体积微小，没有足够的重量进行沉降、喷涂或涂刷，一些微小的装置还会受到气隙、厚度不均等因素的不良影响，因此无法采用传统的防护涂层。Parylene真空镀膜以其良好的耐腐蚀、耐有机溶剂，抗菌抗氧、 低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性，在国际临床运用的生物医疗器材的表面涂层上，将逐步取代TiNi（镍钛）合金涂层。如骨钉、探针、针头、临时手术器械、导尿管、制动器及耳蜗植入器，心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、射频治疗仪、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子医疗器械。