产品价格:0 元(人民币) 上架日期:2012年11月27日 产地:山东招远 发货地:山东招远 (发货期:当天内发货) 供应数量:不限 最少起订:1台 浏览量:209 暂无相关下载 其他资料下载:
简要说明:
采用电感耦合高密度等离子体(ICP),能快速去除晶圆上之残留光阻,达到晶圆表面洁净,具有蚀刻率高,无电极污染,离子能量低,不损伤基板等优点。