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哪里有便宜的氧化镁 莱州氧化镁价格放大图片

产品价格:面议   元(人民币)
上架日期:2016年11月21日
产地:邢台
发货地:邢台  (发货期:当天内发货)
供应数量:不限
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邢台市镁神化工有限公司

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品牌:镁神产地:邢台
价格:面议人民币/吨规格:完善

简要说明:镁神牌的哪里有便宜的氧化镁 莱州氧化镁价格产品:估价:面议,规格:完善,产品系列编号:齐全

详细介绍:

  

目前对单晶氧化镁超精密加工技术的研究较少,没有一套完整的专门适合于单晶氧化镁的超精密加工工艺。本文采用化学机械抛光(Chemical Mechanical PolishingCMP)方法加工单晶氧化镁基片表面,通过化学和机械的交互作用去除表面损伤层,高效地获得超光滑无损伤的单晶轻质氧化镁基片表面。 

本文在大量的CMP实验基础上,研究了影响CMP过程的主要因素(如抛光垫、抛光液、抛光压力、抛光盘转速等)对单晶氧化镁基片抛光效果的影响规律。根据单晶氧化镁基片的物理化学性质,研制了适合单晶氧化镁基片的化学机械抛光液。对抛光垫的主要特性参数进行了检测和评价。并在相同工艺参数下,使用不同的抛光垫分别对单晶氧化镁基片进行CMP实验,对比分析了不同抛光垫的作用机理及抛光效果,选择出一种适合单晶氧化镁基片CMP的抛光垫。通过正交实验,对CMP工艺参数进行优化,获得了较好的基片表面质量,表面粗糙度Ra值达到1.3(AFM测量结果),提高了加工效率,降低了成本。本文还针对CMP过程中的小尺寸基片面形难于控制的问题,研究了CMP工艺参数对单晶氧化镁基片面形的影响,对于改善基片面形精度有一定的指导意义。http://www.xtmshg.com/


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