详细介绍:
电子级氢氟酸,英文名 hydrofluoric acid,分子式HF,分子量 20. 01。为无色透明液体 ,相对密度1. 15~1 . 18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。电子级氢氟酸,能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ,生成各种盐类。电子级氢氟酸,腐蚀性极强 ,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇 ,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、 腐蚀剂 ,可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用 。
电子级氢氟酸应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 .电子级氢氟酸是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 .电子级氢氟酸还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。
将无水氢氟酸(国家标准制定者:多氟多化工股份有限公司)经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到的氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,随后经0.2μm以下超滤工序,最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。
电子级氢氟酸,应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 。电子级氢氟酸,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,电子级氢氟酸,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前 ,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ,其他方面用量较少。
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