一、CCQ型气动超高真空插板阀概述：
   CCQ型气动超高真空插板阀是真空阀系列，通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。带反馈信号装置。
二、CCQ型气动超高真空插板阀技术参数：

适用范围	105～1.3×10-7Pa
阀门漏率	≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)　≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)
适用温度	- 30～+150℃
阀门开启时阀板两侧的压差	≤2.7×103Pa
气源压力	0.4～0.6MPa

三、CCQ型气动超高真空插板阀主要零件材料：

阀体、阀板	不锈钢
密封件	氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶

四、CCQ型气动超高真空插板阀实拍图：

五、CCQ型气动超高真空插板阀外形及连接尺寸(mm)

型号	DN	A	H	D	Do	D1	D2	D3	L	L1	G	E	n-d	法兰标准
CCQ-50	50	60	92	89	72.4	61.6	55.6		515	153	220	65	8-M8	GB6071
CCQ-63	63	65	105	114	92.1	82.6	76.6		566	180	220	80	8-M8
CCQ-80	80	65	130	130	110	99	93		603	200	220	80	16-M8
CCQ-100	100	70	152	152	130.2	120.7	114.7		653	267	220	95	16-M8
CCQ-150	150	70	202	202	181	171.5	165.5		771	350	270	95	20-M8
CCQ-200	200	80	251	253	231.8	222.3	216.6		889	424	270	115	24-M8
CCQ-250	250	85	300	314	288	308	275	271	1127	574	350	140	24-M10	JB5278
CCQ-300	300	85	352	365	338	353	323	318	1197	613	420	140	32-M10
CCQ-320	320	85	372	385	357	379	344	340	1197	613	440	140	36-M10	JB5278
CCQ-400	400	110	456	497	454	480	440	436	1666	810	536	180	36-M12
CCQ-500	500	135	595	590	555	580	540	536	1835	870	640	220	40-M12
CCQ-630	630	135	690	700	658	680	639	635	1930	960	780	280	40-M16
CCQ-800	800	150	880	890	855	880	835	831	2200	1100	950	350	60-M16