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全新设计的ATH2303M复合式磁悬浮分子泵采用集成式控制器,适用于非加热要求的各种应用,具有安装使用成本低等特点。结构设计紧凑,抽速大,气体处理能力强,5轴磁悬浮轴承设计保证泵运行稳定可靠。可提供DN200和DN250口径。
安装使用方便:将泵连接至腔体,提供电源,冷却水及通讯信号,即可启动分子泵开始工作。