ULVAC UTM3400A涡轮分子泵，采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省配线，省空间。

特点

• 泵体和控制器一体化
  泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。

• 安装方向自由
  安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。

• 产品阵容涵盖排气速度1000 L / s至4000 L / s。

• 广域大流量设计，适用于轻工艺
  泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。

• 高耐久性和安全性
  已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。