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德国贝莱克Belec故障维修的原因:
1.漏气(意味着离子44是二氧化碳)
2.氦气供应受到污染(意味着离子44是二氧化碳)
3.源中的玻璃/柱碎片(指离子44是SiO)
4.降解捕集器(意味着离子44是二氧化碳)
5.泄漏(意味着离子44是二氧化碳)
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