OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine2200M-R
OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine2200M-R
产品价格:¥22.22(人民币)
  • 规格:完善
  • 发货地:上海市闵行区
  • 品牌:
  • 最小起订量:1
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    商品详情
      产品参数
      品牌OSAKA
      吸气口法兰ISO-B250 / VG250
      排气口法兰KF40 / KF50
      排气速度N2 (L/s)2200
      起动时间≦10min
      排气速度H2 (L/s)1800
      zui大压缩比N22×108
      zui大压缩比H23×103
      安装方向任意
      可售卖地北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆
      型号TGkine2200M-R

      OSAKA大阪真空

      TGkine-R系列磁悬浮复合分子泵

      具备了磁悬浮复合分子泵(控制器?电源一体型)TGkine-B系列稳定的产品性能及广受好评的特性,本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能,即使在维修期间更换控制器,也能够传输数据。

      产品特点:

      省电设计??????
      在真空泵本体中,可存储设置参数,运转数据及异常历史等。?
       
      ※即使在维护阶段更换控制器,也可实现全数据转移。??????
      支持多种通信接口规格 (兼容EtherCAT通信协定)??????
      适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
      产品应用:半导体制造设备
      FPD制造设备
      太阳能电池制造设备
      玻璃/镜片等光学部件加工
      镀膜工艺
      加速器/宇宙环境模拟器
      技术参数:


      型号※1TGkine2200M-R
      吸气口法兰ISO-B250 / VG250
      排气口法兰※2KF40 / KF50
      排气速度N2?(L/s)2200
      N2

      (付带金属保护网)?(L/s)
      2100
      H2?(L/s)1800
      zui大压缩比N2>2×108
      H23×103
      zui大气体流量※3、※4N2?(sccm)7000
      Ar?(sccm)3000
      起动时间(min)≦10
      停止时间(min)≦10
      到达压力※5(Pa)<2×10-7
      (Torr)<1.5×10-9
      zui大排气口压力※6(Pa)220
      (Torr)1.65
      推荐前级泵(L/min)≧2000
      安装方向任意
      质量(kg)59

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