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在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在 某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气前提如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中出产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。
乱流式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式合用于洁净室等级1,000-100,00000长处:构造简朴、系统建造本钱低,洁净室的扩充比较轻易,在某些特殊用途场所,可并用无尘车间,洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统休止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相称长一段时间。
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