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控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中出产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在 某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气前提如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。
层流式空气气流运动成一平均之直线型,空气由笼盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式合用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严峻。长处:构造简朴,运转后短时间内即可变成不乱。缺点:建造用度比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器笼盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作职员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。长处:治理轻易,运转开始短时间内即可达不乱状态,不易为功课状态或功课职员所影响。缺点:构造用度较高,弹性运用空间难题,天花板之吊架相称占空间,维修更换过滤器较麻烦。
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