应用领域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device
设备特点：本设备是用于在半导体或特种材料基板上进行金属、ITO等材料蒸镀的批处理式高真空蒸发镀膜设备。

可通过触摸屏进行集中操作控制，自动完成从真空排气至镀膜的所有过程。适用于半导体、LED、电力电子等行业芯片的科研及小批量生产。

可搭载多种蒸发源（EB，RH，EB＋RH　等）

可搭载多种夹具，对应不同工艺（lift-off，planetary，satellite　等）

可搭载多种基板；基板尺寸从2寸到6寸，材料为硅，玻璃等

可通过　LCD　触摸屏进行操作

PC控制系统以及各种功能（工艺参数，记录数据，维护保养）　
日本发货

欢迎来到上海瞻驰光电科技有限公司网站，

联系电话是021-58210030,联系手机是15300099033,

主要经营光通信芯片：背面研磨抛光、退火、划片、裂片、扩膜、测试分选、外观检查方案 射频类芯片：刻蚀、背面研磨抛光、退火、贴膜、划片方案 IGBT：离子注入、镀膜、刻蚀、退火、贴膜撕膜，减薄，划片方案 MEMS：CMP、硅深刻蚀、镀膜、干法去胶、贴膜撕膜、减薄、划片、扩膜方案 CMOS 图像传感器：背面减薄、高速切割、超声缺陷检测方案 TSV：通孔刻蚀、电镀、临时键合、减薄、CMP、。 单位注册资金单位注册资金人民币 100 - 250 万元。 本公司主营：半导体行业加工设备,研磨抛光,划片裂片,贴膜撕膜,CMP化学机械抛光,LD芯片测试等产品，是优秀的电子产品公司，拥有优秀的高中层管理队伍，他们在技术开发、市场营销、金融财务分析等方面拥有丰富的管理经验，选择我们，值得你信赖！