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R-14（CF4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、Freon 14、PFC-14、FC-14、R14）
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冷媒名称 |
R-14 |
冷媒名称 |
R-14 |
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沸点（1atm），℃ |
-128.1 |
破坏臭氧潜能值（ODP） |
0 |
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饱和蒸气压（-150.7℃），kPa |
13.33 |
全球变暖潜能值(GWP，100 yr) |
5700 |
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临界温度，℃ |
-45.6 |
燃烧 |
不可燃 |
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临界压力，MPa |
3.75 |
ASHRAE安全级别 |
A1（无毒不可燃） |
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主要应用 |
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R14主要用于超低温（深冷）复叠式制冷设备中，R14也是低温配合冷媒的重要组分；四氟化碳（别名：四氟甲烷，全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 |
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包装规格 |
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钢瓶包装，5kg/瓶，32.8kg/瓶。 |
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包装运输
四氟化碳（R14）对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5MPa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。钢瓶包装：5kg/瓶，35kg/瓶
