型号变体

• 低压损型号，最多60 psia（MCW系列）
• 高压型号，160-320 psia（MCQ系列）
• 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
• 配备气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
• 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

美国ALICAT MCS耐腐蚀气体质量流量控制器  HCL气体流量控制器 阀门选项

您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持性能。

• MC系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCP系列—选配孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
• MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量