3d轮廓检测设备主要是测量微小结构件的微观3D形貌，辅助判断工艺参数是否需要调整。它以白光干涉扫描技术为基础，用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。可以说只有3d光学轮廓仪检测仪器设备才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。

中图仪器研发生产的3d轮廓检测设备，应用领域广泛，操作简便，分辨率0.1μm，重复性0.1%，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量高要求的领域中。

产品参数

工作原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

产品性能特征
1、高精度、高重复性
2、一体化操作的测量分析软件
3、精密操纵手柄
4、双重防撞保护措施
5、双通道气浮隔振系统

中图仪器研发的的3d轮廓检测设备让轮廓测量价格更为实惠，适用于各种产品、部件和材料表面的台阶高度、表面缺陷、平面度、粗糙度、孔隙间隙、波纹度、面形轮廓、磨损情况、腐蚀情况、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析，简单来说就是主要用于成品的质量管理，确保良品合格率。